集成电路工艺BEOL、MEOL和FEOL到底什么分别

发布: 2017-2-21 10:03 | 作者: wowode3 | 来源: EETOP 赛灵思(Xilinx) 社区

如题,对集成电路工艺首次接触,其中接触到BEOL、MEOL和FEOL,具体分别是什么?典型process flow有什么区别呢?请各位大侠扫盲,谢谢!

网络资源