金属蒸发填孔问题求组

发布: 2017-6-02 08:43 | 作者: 夏目家的喵 | 来源: EETOP 赛灵思(Xilinx) 社区

金属蒸发用于填孔时,老是有缝隙,请问各位怎样改善金属蒸发的台阶覆盖性能?孔的深度为1000A,孔的宽度为0.25um,大家可以交流一下
sonthy (2017-6-02 11:01:13)
回流搞不定吗,蒸发工艺台阶覆盖本来就很差

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